[发明专利]柔软且可修整的化学机械窗口抛光垫

摘要

柔软且可修整的化学机械窗口抛光垫.本发明提供了一种化学机械抛光垫，其包括抛光层、塞入性终点检测窗口块体、刚性层以及将所述抛光层与刚性层粘结的热熔粘合剂，其中所述抛光层包含以下组分的反应产物，所述组分包括多官能异氰酸酯和固化剂包装，所述固化剂包装包含胺引发的多元醇固化剂和高分子量多元醇固化剂，其中，所述抛光层的密度大于0.6克/厘米3，肖氏D硬度为5‑40，断裂伸长率为100‑450％，切割速率为25‑150微米/小时；以及其中所述抛光层具有适合用来对基材进行抛光的抛光表面。本发明还提供了制备和使用化学机械抛光垫的方法。

主权项

一种化学机械抛光垫，其包括:抛光层，所述抛光层具有抛光表面和底表面、扩孔开口、贯穿开口和平均厚度TP‑avg，该厚度是在垂直于所述抛光表面的方向上从所述抛光表面测量到所述底表面得到的；具有平均厚度TW‑avg的塞入性终点检测窗口块体，该厚度是沿着垂直于所述抛光表面的平面的轴向上测得的；具有上表面和下表面的刚性层；介于所述抛光层的底表面和所述刚性层的上表面之间的热熔粘合剂；其中，所述热熔粘合剂将所述抛光层与所述刚性层粘结；任选地，压敏平台粘合剂；其中，所述压敏平台粘合剂设置在所述刚性层的下表面上；任选地，剥离衬垫；其中所述压敏平台粘合剂介于所述刚性层的下表面和任选的剥离衬垫之间；其中所述抛光层包含以下组分的反应产物，所述组分包括：多官能异氰酸酯；和固化剂包装，所述固化剂包装包含：至少5重量％的胺引发的多元醇固化剂，其中所述胺引发的多元醇固化剂每个分子至少包含一个氮原子；其中所述胺引发的固化剂每个分子平均具有至少三个羟基；25‑95重量％的高分子量多元醇固化剂，其中所述高分子量多元醇固化剂的数均分子量MN为2,500‑100,000；以及其中所述高分子量多元醇固化剂每个分子平均具有5‑7个羟基；以及0‑70重量％的双官能固化剂；其中，所述抛光层的密度大于0.6克/厘米3，肖氏D硬度为5‑40，断裂伸长率为100‑450％，切割速率为25‑150微米/小时；其中所述贯穿开口延伸穿过所述抛光层从所述抛光表面延伸至所述底表面；其中，所述扩孔开口开在所述抛光表面上，使所述贯穿开口扩大并形成阶状部分；其中，所述扩孔开口具有平均深度DO‑avg，该深度是在垂直于抛光表面的平面方向上从所述抛光表面的平面测量至所述阶状部分得到的；其中，所述平均深度DO‑avg小于所述平均厚度TP‑avg；其中将所述塞入性终点检测窗口块体设置在扩孔开口内；以及，其中将所述塞入性终点检测窗口块体与抛光层相粘结。