[发明专利]一种垂直布局制备金刚石膜的单阵列热丝装置

摘要

一种垂直布局制备金刚石膜的单阵列热丝装置，属于镀膜技术领域，特别涉及一种制备金刚石膜的热丝装置。该装置包括真空室上壁板和真空室下壁板，其特征在于：上电极板与真空室上壁板固定连接；单列的热丝竖直分布，其上端与上电极板固定连接，其下端与下电极板固定连接；下电极板下端固定于热丝调力机构之上，热丝调力机构固定于真空室下壁板之上。本发明采用单阵列热丝竖直分布，可以双面大面积镀膜，减少热丝的成本，竖直分布的热丝结构保证了在不破坏热丝的情况下取出试样，进一步降低了热丝的成本，热丝下端的热丝调力机构可以张紧热丝并限制热丝摆动，实现均匀镀膜。

主权项

一种垂直布局制备金刚石膜的单阵列热丝装置，包括真空室上壁板(11)和真空室下壁板(12)，其特征在于：上电极板(2)与真空室上壁板(11)固定连接；单列的热丝(7)竖直分布，其上端与上电极板(2)固定连接，其下端与下电极板(3)固定连接；下电极板(3)下端固定于热丝调力机构之上，热丝调力机构固定于真空室下壁板(12)之上。