[发明专利]一种微压力传感器及其制备与检测方法

摘要

本发明提供了一种流体微压力传感器及其制备与检测方法，传感器从上到下主要包括上薄板、中薄板和基底；其中，中薄板、上薄板以及上支柱形成上空腔，中薄板的上表面或上薄板的下表面设置有上绝缘层；中薄板、基底以及下支柱形成下空腔，中薄板的下表面或基底的上表面设置有下绝缘层。上薄板用作传感器压力敏感元件，中薄板用作传感器的谐振元件，上薄板、中薄板和基底同时用作传感器的上、中和下电极。压力测量时，压力引起的上薄板变形导致中薄板所受静电力发生改变，进而引起中薄板谐振频率发生变化，通过该谐振频率和压力变化之间的关系即可实现压力测量。本发明可提高传感器的灵敏度，便于实现微小压力的高灵敏度检测。

主权项

一种微压力传感器对流体压力进行检测的方法，其特征在于：所述传感器包括上电极、中电极、下电极，上电极和中电极之间形成闭合的上空腔，所述上电极的下表面或中电极的上表面设置有上绝缘层，中电极和下电极之间形成闭合的下空腔，所述中电极的下表面或下电极的上表面设置有下绝缘层，检测时，在上电极和中电极之间施加偏置电压，在中电极和下电极之间施加交流激励信号，使中电极发生谐振，以该谐振频率作为参考频率，当有压力作用在上电极时或者作用在上电极上的压力发生变化时，引起上电极与中电极之间的电容和静电力发生改变，从而导致中电极的谐振频率发生改变，调节激励信号的频率使中电极再次谐振，通过谐振频率的变化与被测压力之间的关系即可实现被测压力的检测。