[发明专利]一种串联式超高加速度超精密定位二维平台

摘要

本发明提供了一种串联式超高加速度超精密定位二维平台，包括底座，底座上安装有能够沿X轴方向与Y轴方向运动的宏微XY定位平台，宏微XY定位平台的四边上通过连接架安装有结构相同的X轴第一电机、X轴第二电机、Y轴第一电机，以及Y轴第二电机；其中，X轴第一电机与X轴第二电机同轴设置，进行X轴方向加速定位运动，Y轴第一电机与Y轴第二电机同轴设置，进行Y轴方向加速定位运动；X轴第一电机、X轴第二电机、Y轴第一电机，以及Y轴第二电机的底端均与底座固定连接，实现了在X和Y轴方向加速和长行程的同时，通过补偿定位平台中的压电致动器补偿电机误差，最终实现超高加速、长行程和超精密定位的二维运动。

主权项

一种串联式超高加速度超精密定位二维平台，其特征在于，包括底座(12)，底座(12)上安装有能够沿X轴方向与Y轴方向运动的宏微XY定位平台(11)，宏微XY定位平台(11)的四边上通过连接架安装有结构相同的X轴第一电机(1)、X轴第二电机(2)、Y轴第一电机(3)，以及Y轴第二电机(4)；其中，X轴第一电机(1)与X轴第二电机(2)同轴设置，进行X轴方向加速定位运动，Y轴第一电机(3)与Y轴第二电机(4)同轴设置，进行Y轴方向加速定位运动；X轴第一电机(1)、X轴第二电机(2)、Y轴第一电机(3)，以及Y轴第二电机(4)的底端均与底座(12)固定连接。