[发明专利]MEMS麦克风在审
| 申请号： | 201410240867.4 | 申请日： | 2014-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN105246012A | 公开（公告）日： | 2016-01-13 |
| 发明（设计）人： | 胡永刚 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华半导体有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 邓云鹏 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种MEMS麦克风，振膜包含具有一定角度的侧裙，侧裙的角度会因为振膜的应力发生改变，振膜受到张应力时，振膜表现为收缩，侧裙倾斜角度变大，这样就可以释放一部分振膜的张应力；振膜受到压应力时，侧裙倾斜角度变小，也可以释放一部分振膜的压应力。上述MEMS麦克风结构简单，与现有工艺相差不大，容易制造。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，其特征在于，包括基底和振膜，所述基底形成支撑结构并设有传声开口，所述振膜跨设于所述传声开口，所述振膜包括振动主体、侧裙和膜边，所述振动主体通过所述侧裙和所述膜边连接，所述膜边连接所述基底，所述侧裙和所述主体呈10度～80度倾斜，所述侧裙和所述膜边呈10度～80度倾斜。
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