[发明专利]微机电感测装置封装结构及制造工艺在审
申请号: | 201410240872.5 | 申请日: | 2014-05-30 |
公开(公告)号: | CN105293421A | 公开(公告)日: | 2016-02-03 |
发明(设计)人: | 李硕源;康成国;李敬燮;林秉俊;金*洙;金熙嬿;李胜茂 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | B81B7/00 | 分类号: | B81B7/00;B81C1/00 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 林斯凯 |
地址: | 中国台湾高雄*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及一种微机电感测装置封装结构及制造工艺,所述封装结构包括:衬底、芯片、第一感测裸片、第二感测裸片及封胶。所述芯片设置于所述衬底的第一表面。所述第一感测裸片与所述芯片电性连接。所述第二感测裸片堆叠于所述芯片的第一表面,且所述第二感测裸片与所述芯片电性连接。封胶包覆所述衬底的所述第一表面、所述芯片的部分第一表面及所述第一感测裸片,其中所述封胶形成缺口,以显露出所述第二感测裸片。所述封装结构可降低封装尺寸及提升电气特性。 | ||
搜索关键词: | 微机 电感 装置 封装 结构 制造 工艺 | ||
【主权项】:
一种封装结构,其包括:衬底,其具有第一表面;芯片,其设置于所述衬底的所述第一表面,所述芯片具有第一表面;第一感测裸片,其与所述芯片电性连接;第二感测裸片,其堆叠于所述芯片的所述第一表面,且所述第二感测裸片与所述芯片电性连接;及封胶,其包覆所述衬底的所述第一表面、所述芯片的部分第一表面及所述第一感测裸片,其中所述封胶形成缺口,以显露出所述第二感测裸片。
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