[发明专利]投影狭缝及调焦调平传感器有效
| 申请号： | 201410243346.4 | 申请日： | 2014-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN105223780B | 公开（公告）日： | 2017-12-29 |
| 发明（设计）人： | 孙昊 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种投影狭缝及调焦调平传感器，所述投影狭缝用于在待测表面形成沿测量方向排布的M排光斑，所述光斑具有多种形状或朝向，以实现渐进式多精度、多量程的测量。所述调焦调平传感器包括所述投影狭缝及光电探测器阵列，所述光电探测器阵列配备有对应于每一个光斑的信号处理通道。本发明中的光斑分布具有渐进测量精度和渐进量程，可以适应不同的测量精度需求。对同一被测对象，可以实现测量精度由低到高，测量量程由大到小的过渡，降低了在测量过正中寻找光斑的难度，使测量过程更易于控制。 | ||
| 搜索关键词： | 投影 狭缝 调焦 传感器 | ||
【主权项】：
一种投影狭缝，用于在待测表面形成沿测量方向排布的M排光斑，其特征在于，所述光斑具有多种形状或朝向。
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