[发明专利]流量传感器及其制造方法和流量传感器模块及其制造方法有效
| 申请号： | 201410244748.6 | 申请日： | 2011-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN103994794B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 河野务;半泽惠二;森野毅;冈本裕树;德安升;田代忍 | 申请（专利权）人： | 日立汽车系统株式会社 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684;G01F1/692;G01F1/698;G01F5/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 丁文蕴,许凯 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够抑制每个流量传感器的性能偏差的技术。在本发明的流量传感器(FS1)中，形成为在使形成在半导体芯片(CHP1)上的流量检测部(FDU)露出的状态下利用树脂(MR)覆盖半导体芯片(CHP1)的一部分的结构。在与空气的流动方向平行的方向，树脂(MR)密封半导体芯片(CHP1)的上表面(SUR(CHP))的一部分，从而树脂(MR)的上表面(SUR(MR))的高度比半导体芯片(CHP1)的上表面(SUR(CHP))高，因此能够在流量检测部(FDU)使空气的流动稳定。而且，通过半导体芯片(CHP1)和树脂(MR)的接触面积增加，能够防止半导体芯片(CHP1)和树脂(MR)的界面剥离。 | ||
| 搜索关键词： | 流量传感器 及其 制造 方法 模块 | ||
【主权项】：
一种流量传感器模块，其特征在于，具备：以使流量检测部露出的状态利用第一树脂密封半导体芯片的流量传感器，上述半导体芯片具有形成在半导体基板的主面上的上述流量检测部、和形成在上述半导体基板的与上述主面相反的一侧的背面之中与上述流量检测部相对的区域上的隔膜；将气体导向上述流量传感器的上述流量检测部的流道部；以覆盖密封上述流量传感器的上述第一树脂的更外侧的方式形成，并且以使上述流量检测部露出的方式形成的第二树脂，上述流道部由在上述第二树脂的表面形成的槽和在与该槽相对的区域上配置的罩构成。
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