[发明专利]银合金靶材、其制造方法及应用该靶材的有机发光二极管有效
| 申请号： | 201410245096.8 | 申请日： | 2014-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN105316630B | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 林守贤 | 申请（专利权）人： | 光洋应用材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/20;C22C5/06;H01L51/54 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;鲍俊萍 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种银合金靶材、其制造方法及应用该靶材的有机发光二极管，银合金靶材实质上由银及铟或者银、铟、钯及铜所构成。其平均晶粒尺寸界于33μm到126μm之间。以该银合金靶材的总重量为基准，铟的含量大于等于0.25wt％且小于等于5wt％、钯的含量大于等于0.25wt％且小于等于3.5wt％、铜的含量大于等于0.25wt％且小于等于3wt％。通过预定比例的铟、或者铟、钯与铜的添加，并控制平均晶粒尺寸界于33μm与126μm之间，该银合金靶材可经由溅镀制得兼具有良好耐热性、抗硫化性、附着力、高反射率及高精细度的银合金薄膜。据此，该银合金靶材不仅符合实用性，亦能广泛的应用于有机发光二极管的产业与领域。 | ||
| 搜索关键词： | 合金 制造 方法 应用 有机 发光二极管 | ||
【主权项】：
一种银合金靶材，其特征在于，其实质上由银及铟所构成，以该银合金靶材的总重量为基准，铟的含量为大于等于0.25wt％且小于等于5wt％，且该银合金靶材的平均晶粒尺寸界于33μm与126μm之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于光洋应用材料科技股份有限公司，未经光洋应用材料科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410245096.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种镀膜基片架及真空镀膜设备
- 下一篇：半导体加工用蒸发台的自清洁装置
- 同类专利
- 专利分类
