[发明专利]使用混合酸液无铬刻蚀有机聚合物的方法有效
| 申请号： | 201410245518.1 | 申请日： | 2014-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN104109537B | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | K·魏特邵斯;W·张-伯格林格;A·沙耶伯;J·格比 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国马萨*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 使用混合酸液无铬刻蚀有机聚合物的方法。提供了一种方法，所述方法包括：a.提供包含一种或多种有机聚合物的基材；b.提供一种水性酸溶液，所述水性酸溶液基本由硫酸、一种或多种有机酸以及Mn(II)离子和Mn(III)离子组成；和c.将基材的一种或多种有机聚合物与所述水性酸溶液接触，以刻蚀所述基材的一种或多种有机聚合物。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 混合 酸液无铬 刻蚀 有机 聚合物 方法 | ||
【主权项】：
一种用于刻蚀有机聚合物的方法，所述方法包括：a.提供包含一种或多种有机聚合物的基材；b.提供一种水性酸溶液，所述水性酸溶液由硫酸、一种或多种有机酸以及Mn(II)离子和Mn(III)离子、水和一种或多种氧化剂组成，所述氧化剂选自下组：KMnO4、过硫酸盐、无机过氧化物、有机过氧化物、亚氯酸盐、氯酸盐、高氯酸盐、次氯酸盐、四氧化锇、银(II)‑氧化物、臭氧、铈(IV)和醋酸铅，其中包含在溶液中的氧化剂能使Mn(II)离子浓度范围为1mmol/L到50mmol/L；和c.将基材的一种或多种有机聚合物与所述水性酸溶液接触，以刻蚀所述基材的一种或多种有机聚合物。
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