[发明专利]一种阻抗匹配装置

摘要

本发明涉及一种阻抗匹配装置，其连接于电源和反应腔室之间，且包括匹配网络，匹配网络包括可变电容和第一可变电容单元，第一可变电容单元包括相互并联的多个支路，在每条支路上设置有固定电容和用于接通或断开该支路的通断开关；通过按预设规则选择性地开启所有支路中的至少一个支路上的所述通断开关，来调节第一可变电容单元的总容值。上述阻抗匹配装置可以快速调节第一可变电容单元的总容值，从而可以快速地调节电源的负载导纳的实部或虚部的大小，避免在反应腔室的导纳的实部或虚部变化速度较快，和/或，反应腔室的导纳的实部或虚部变化范围较大时产生失配。

主权项

1.一种阻抗匹配装置，其连接于电源和反应腔室之间，且包括匹配网络，其特征在于，所述匹配网络包括可变电容和第一可变电容单元，所述第一可变电容单元包括相互并联的多个支路，在每条所述支路上设置有固定电容和用于接通或断开该支路的通断开关；通过按预设规则选择性地开启所有支路中的至少一个支路上的所述通断开关，来调节第一可变电容单元的总容值；每个固定电容的容值是所有固定电容的容值中的最小容值的2n倍，其中，n为容值小于该固定电容的容值的所有固定电容的数量；所述所有固定电容的容值中的最小容值满足：调节第一可变电容单元的总容值后，匹配网络的导纳的虚部与目标导纳值的虚部之间的差值在预设的误差范围之内；所述预设规则为：开启容值最小的固定电容所在支路上的通断开关，或者，开启某一支路上的通断开关，同时关闭多个固定电容中容值小于该支路上的固定电容的固定电容所在支路上的通断开关，使多个支路的总容值逐步递增，且每次递增的容值为所述最小容值；以及，关闭容值最小的固定电容所在支路上的通断开关，或者，关闭某一支路上的通断开关，同时开启多个固定电容中容值小于该支路上的固定电容的固定电容所在支路上的通断开关，使多个支路的总容值逐步递减，且每次递减的容值为所述最小容值。