[发明专利]基于薄膜体声波谐振器的MEMS红外传感器制备方法

摘要

本发明公开了一种基于薄膜体声波谐振器的MEMS红外传感器，及其制备方法，依次包括金属块、压电振荡堆和声波反射层；压电振荡堆和金属块依次沉积在声波反射层上，压电振荡堆包括依次沉积在声波反射层上的底电极、压电层、上电极；上电极位于红外传感器表面即称为红外窗口薄膜，其材质为具有红外透射率的导电薄膜，便于红外光线透过上电极照射在压电层上；声波反射层包括基片、基片上沉积的支撑层、以及基片与支撑层之间的空气腔；压电振荡堆沉积在支撑层上；本发明中MEMS红外传感器的尺寸较小，制作成本低，制备工艺简单，并且能够反复使用，且可批量生产并集成阵列、制造成本低、易于同外部电路相兼容、无需制冷、对整个红外波段敏感等特点。

主权项

一种基于薄膜体声波谐振器的MEMS红外传感器，其特征在于：依次包括金属块、压电振荡堆和声波反射层；所述压电振荡堆和金属块依次沉积在声波反射层上，其中：压电振荡堆包括依次沉积在声波反射层上的底电极、压电层、上电极；所述上电极位于红外传感器表面即称为红外窗口薄膜，其材质为具有红外透射率的导电薄膜或者露出压电薄膜的栅格状电极，便于红外光线透过上电极照射在压电层上；所述声波反射层包括基片、基片上沉积的支撑层；压电振荡堆沉积在支撑层上；所述声波反射层为背腔刻蚀结构、空气隙结构或者布拉格反射层结构。