[发明专利]露点传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201410246545.0 | 申请日： | 2014-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN104048994A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 陈志 | 申请（专利权）人： | 陈志 |
| 主分类号： | G01N25/66 | 分类号： | G01N25/66 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 邓世燕 |
| 地址： | 美国肯塔基州列*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种露点传感器及其制造方法，传感器包括第一电极、绝缘材料层、介质敏感材料薄膜层和第二电极，在绝缘材料层上设置有孔，以及相对立的第一表面和第二表面，第一表面与第一电极接触，在第二表面、孔的内壁面及孔的底面均匀地覆盖有介质敏感材料薄膜层；在第二表面对应位置处的介质敏感材料薄膜层上设置有第二电极。本发明的露点传感器具有出色的长期稳定性和高灵敏度，而且能够在无特殊保护措施的情况下储存在任何地方。 | ||
| 搜索关键词： | 露点 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种露点传感器，其特征在于：包括第一电极、绝缘材料层、介质敏感材料薄膜层和第二电极，其中：在绝缘材料层上设置有孔，以及相对立的第一表面和第二表面，第一表面与第一电极接触，在第二表面、孔的内壁面及孔的底面均匀地覆盖有介质敏感材料薄膜层；在第二表面对应位置处的介质敏感材料薄膜层上设置有第二电极。
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