[发明专利]磁性记录媒体和在基板上图案化薄膜的方法有效
申请号: | 201410246897.6 | 申请日: | 2009-10-15 |
公开(公告)号: | CN103996404B | 公开(公告)日: | 2017-08-04 |
发明(设计)人: | O·那拉玛苏;S·文哈弗贝克;M·孚德;M·文卡特杉;N·M·克里希纳 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | G11B5/855 | 分类号: | G11B5/855;G11B5/82;B82Y10/00;C23C14/04;C23C14/48 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 胡林岭 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种用于在基板上图案化磁性薄膜的方法,所述方法包括在所述磁性薄膜周围提供图案,其中所述图案的选择性区域允许一或多种元素的能量化离子的穿透。能量化离子经产生而具有足够能量以穿透选择性区域及与这些选择性区域相邻的所述磁性薄膜的部分。置放所述基板以接收这些能量化离子。可使所述磁性薄膜的所述部分经受热激发。使所述磁性薄膜的这些部分呈现出与选择性其它部分不同的磁性性质。本发明亦揭示用于图案化磁性媒体的方法,所述媒体的两侧上具有磁性薄膜。 | ||
搜索关键词: | 使用 量化 离子 图案 磁性 薄膜 方法 | ||
【主权项】:
一种磁性记录媒体,包括:基板,具有安置于所述基板上的等离子体掺杂的磁性薄膜,所述磁性薄膜包括钴合金层,所述钴合金层具有:第一区域的图案,所述第一区域具有掺杂离子浓度,其中氦离子被植入至第一深度且硼离子被植入至第二深度,所述第二深度小于所述第一深度,且其中具有掺杂离子浓度的所述第一区域呈现出的磁性性质与相邻于所述第一区域的区域不同。
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