[发明专利]具有背保护层的不锈钢箔太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明涉及太阳电池领域，具体公开了一种具有背保护层的不锈钢箔太阳能电池及其制备方法。本发明的具有背保护层的不锈钢箔太阳能电池，在基底的太阳能接收侧依次形成有扩散阻挡层、第一电极层、吸收层、缓冲层、第二电极层、减反层和表面电极层，在基底的太阳能接收侧的相对侧形成有背保护层，背保护层为单层，扩散阻挡层为三层或三层以上结构。本发明的具有背保护层的不锈钢箔太阳能电池，背保护层能有效避免高温腐蚀性气氛工艺过程中对基底的损害，扩散阻挡层能有效阻挡基底杂质元素进入吸收层，能够显著增加扩散阻挡层与基底、第一电极层的结合力。

主权项

具有背保护层的不锈钢箔太阳能电池，包括不锈钢箔基底和在不锈钢箔基底上依次形成的扩散阻挡层、第一电极层、吸收层、缓冲层、第二电极层、减反层和表面电极层，其特征在于：所述不锈钢箔基底的太阳能接收侧的相对侧形成有背保护层，所述背保护层为单层，所述背保护层任选由以下组制成：a组：铝、钼、钛、镍、铜、锆、铌、铬、钌、铑、钯、钽、钨、铱、锇、铂、金或银，或它们的合金；或b组：硅的氮化物、氧化物或碳化物；或c组：氮化钛、氮化钽、氮化钨或氮化锆；所述背保护层厚度为10nm～3000nm；所述扩散阻挡层为三层或三层以上结构，所述扩散阻挡层的每一层任选由以下组制成：A组：铝、钼、钛、镍、铜、锆、铌、铬、钌、铑、钯、钽、钨、铱、锇、铂、金或银，或它们的合金；或B组：硅的氮化物、氧化物或碳化物；或C组：氮化钛、氮化钽、氮化钨或氮化锆；所述扩散阻挡层的厚度为10nm～3000nm。