[发明专利]薄膜太阳能电池的CIS基吸收层中的三维组成分布

摘要

本发明提供了用于形成包括三维组成分布的薄膜太阳能电池的CIS基吸收层的结构和方法。本发明提供了具有两个或多个不同区域的图案化的吸收层，每个区域具有一种或多个组分的不同浓度分布。在一些实施例中，不同的区域具有各自不同的GGI分布。GGI表示CIS基吸收材料中的原子比率Ga/(Ga+In)，并且在一些实施例中两个或多个不同的区域具有从CIS基吸收层的顶部至底部的GGI梯度。方法包括使用共蒸发系统中的两个蒸发源以在衬底上产生彼此相邻的两个或多个不同区域。

主权项

一种太阳能电池，包括：衬底；CIS基吸收层，设置在所述衬底的上方，所述CIS基吸收层具有底面和顶面以及包括至少一个第一区域和多个第二区域的水平图案，所述第一区域和所述第二区域从所述底面至所述顶面具有不同的组成分布；其中，所述至少一个第一区域和所述多个第二区域由相同的组分形成，其中，在每个所述第一区域和每个所述第二区域中，所述组成分布是从所述顶面至所述底面增加的原子比率Ga/(Ga+In)的梯度。