[发明专利]反射器冷却水温控制装置在审
| 申请号： | 201410249260.2 | 申请日： | 2014-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN104073873A | 公开（公告）日： | 2014-10-01 |
| 发明（设计）人： | 刘嘉;王彦君;孙健;冯啸桐;乔柳;韩璐;由佰玲 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/28 | 分类号： | C30B13/28 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 杨慧玲 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明创造提供反射器冷却水温控制装置，包括出水水箱、热电阻、温度控制仪、阀门和进水水箱，出水水箱通过出水管道与反射器的冷却水管相连，热电阻位于出水管道内，进水水箱通过进水管道与反射器的冷却水管相连，阀门位于进水管道内，温度控制仪通过信号线与热电阻相连，反射器冷却水温控制装置，克服了因手动调节反射器冷却水进水阀、产生水温波动，导致炉内温度梯度不稳定，造成单晶生长失败的困难，增加了冷却水水温反馈和自动调节进水流量的功能，从而有效提高了成晶率和合格率，降低了成本。本设计结构简单、安全可靠、便于操作、节能环保。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 冷却 水温 控制 装置 | ||
【主权项】：
反射器冷却水温控制装置，其特征在于：包括出水水箱(1)、热电阻(2)、温度控制仪(3)、阀门(4)和进水水箱(5)，所述出水水箱(1)通过出水管道与反射器(6)的冷却水管相连，所述热电阻(2)位于所述出水管道内，所述进水水箱(5)通过进水管道与反射器(6)的冷却水管相连，所述阀门(4)位于所述进水管道内，所述温度控制仪(3)通过信号线与热电阻(2)相连。
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