[发明专利]基于自清洁表面结构制造的六光束干涉系统

摘要

一种基于自清洁表面结构制造的六光束干涉系统，实现结构简单，可靠性高，受外界环境和噪声影响小的一体式系统。装置可分为分光、角度调节、等厚相干三部分。其特征是激光进入装置内部后，由半反半透镜分成三束能量相同的激光束，通过全反镜的角度调节，使三束激光以相同入射角分别射到高度相同，大小相等的楔形板上，每个楔形板上表面镀有半反半透膜，下表面镀有全反膜，在镀有膜的楔形板作用下，三光束被分为了空间对称、能量相同的六束光，在干涉焦点处汇聚，达到六光束干涉光刻，对材料进行微纳级的加工。由于全部的器件制造在装置内，并使用分振幅干涉原理，可大大简化干涉系统，增加其精确度，可广泛应用于微纳米级加工。

主权项

基于自清洁表面结构制造的六光束干涉系统，其特征是：系统包括装置外壳(3)；半反半透镜(8、11)；全反镜(9、10、12、13)；半反半透膜(镀在楔形板上表面)(14)；光学玻璃楔形板(15)；全反膜(镀在楔形板下表面)(17)；所述半反半透镜(8、11)和全反镜(9、10、12、13)固定在装置内部，并根据光路调整好角度固定，使得光通过全反镜(10、12、13)后可以以相同角度入射光进入楔形板(15)，所述光学玻璃楔形板(15)需三个大小形状完全相同，并固定在正三棱柱外壳(3)的三个内表面相同高度处，所述使用的使用光学玻璃楔形板(13)上表面需镀半反半透膜(14)，下表面需镀全反膜(17)，所述装置内部器件固定位置需符合光路，使激光从进光口(2)进入后，出射光线(4)可在装置外形成干涉焦点(5)。