[发明专利]一种光刻投影物镜环境采集控制系统及其控制方法无效
| 申请号： | 201410250579.7 | 申请日： | 2014-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN104035289A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 崔洋;李佩玥;于淼;彭吉;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 田春梅 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种光刻投影物镜环境采集控制系统及其控制方法属于光刻投影物镜控制领域，该系统包括控制机箱、采集驱动机箱、模数转换机箱、多种执行器和多种传感器；所述光纤通信板卡通过光纤传输链路与环境控制算法板卡连接，环境采集驱动板卡通过数字信号传输链路与模数转换板卡或接口转换卡连接，环境采集驱动板卡通过驱动信号传输链路与多种执行器连接，模数转换板卡通过低压模拟信号传输链路与多种传感器连接，所述多种执行器设置在光刻机环境机柜内，所述多种传感器设置在所述光刻投影物镜上。本发明缩短了每次调节的调节时间，保障环境参数调节的精度，降低响应时间，保证了光刻投影物镜和光刻机的整机性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 投影 物镜 环境 采集 控制系统 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻投影物镜环境采集控制系统，其特征在于，该系统包括控制机箱(1)、采集驱动机箱(4)、模数转换机箱(15)、多种执行器(8)和多种传感器(17)；所述控制机箱(1)内包括标准VME背板(10)、主控板卡(11)和光纤通信板卡(2)，所述主控板卡(11)和光纤通信板卡(2)插在所述标准VME背板(10)上，所述采集驱动机箱(4)内包括非标VME背板(12)、环境控制算法板卡(13)和环境采集驱动板卡(5)，所述环境控制算法板卡(13)和环境采集驱动板卡(5)插在所述非标VME背板(12)上，所述模数转换机箱(15)内包括模数转换板卡或接口转换卡(14)；所述光纤通信板卡(2)通过光纤传输链路(3)与环境控制算法板卡(13)连接，环境采集驱动板卡(5)通过数字信号传输链路(6)与模数转换板卡或接口转换卡(14)连接，环境采集驱动板卡(5)通过驱动信号传输链路(7)与多种执行器(8)连接，模数转换板卡(14)通过低压模拟信号传输链路(16)与多种传感器(17)连接，所述多种传感器(17)设置在所述光刻投影物镜(9)上，所述多种执行器(8)设置在光刻机环境机柜内；所述环境采集驱动板卡(5)分别通过自定义数字信号前连接器(20)和供电信号连接器(22)与所述非标VME背板(12)连接，所述非标VME背板(12)通过自定义数字信号后连接器(19)与所述环境控制算法板卡(13)连接。
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