[发明专利]研究等离子体与材料表面相互作用的XPS分析方法及系统有效
| 申请号： | 201410253719.6 | 申请日： | 2014-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN104062312B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 李江涛;王振斌;蒲以康 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N23/227 | 分类号： | G01N23/227 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出一种研究等离子体与材料表面相互作用的XPS分析方法及系统，其中系统包括加载互锁腔体、等离子体放电腔体和分析腔体。加载互锁腔体用于将样品传送至等离子体放电腔体或分析腔体；等离子体放电腔体与加载互锁腔体相连，用于对样品表面进行等离子体放电处理；分析腔体与等离子体放电腔体相连，用于对处理后的样品进行表面分析。根据本发明实施例的分析系统，通过加载互锁腔体和等离子体放电腔体使样品以高真空状态下进入分析腔体进行分析，从而提高了分析结果的准确性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 研究 等离子体 材料 表面 相互作用 xps 分析 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种研究等离子体与材料表面相互作用的XPS分析系统，包括：加载互锁腔体、等离子体放电腔体和分析腔体，其特征在于，所述加载互锁腔体用于将样品传送至所述等离子体放电腔体或所述分析腔体；所述等离子体放电腔体与所述加载互锁腔体相连，用于对所述样品表面进行等离子体放电处理；以及所述分析腔体与所述等离子体放电腔体相连，用于对处理后的所述样品进行分析；所述加载互锁腔体和所述等离子体放电腔体通过第一真空阀相连，所述等离子体放电腔体与所述分析腔体通过第二真空阀相连。
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