[发明专利]一种铌酸钾钠基多层压电陶瓷元件及其制备方法有效
申请号: | 201410254002.3 | 申请日: | 2014-06-09 |
公开(公告)号: | CN104051606B | 公开(公告)日: | 2017-06-23 |
发明(设计)人: | 褚祥诚;高仁龙;李龙土 | 申请(专利权)人: | 北京派和科技股份有限公司;清华大学 |
主分类号: | H01L41/083 | 分类号: | H01L41/083;H01L41/187;H01L41/47;C04B35/495 |
代理公司: | 北京恩赫律师事务所11469 | 代理人: | 刘守宪 |
地址: | 100083 北京市海*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明所述的一种铌酸钾钠基多层压电陶瓷元件,所述铌酸钾钠基无铅压电陶瓷的配方化学计量通式为[(Na0.52K0.44)1‑xLix](Nb0.93‑ySb0.07Tay)O3,其中0.02≤x≤0.06,0.02≤y≤0.06,其压电常数为300‑350pC/N甚至更高,介电常数为1700‑2000,机电耦合系数为0.40‑0.45。 | ||
搜索关键词: | 一种 铌酸钾钠 基多 压电 陶瓷 元件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种铌酸钾钠基多层压电陶瓷元件,其特征在于,所述铌酸钾钠基多层压电陶瓷元件的配方化学计量通式为:(Na0.52K0.44Li0.04)(Nb0.93‑ySb0.07Tay)O3,其中0.02≤y≤0.06;所述铌酸钾钠基多层压电陶瓷元件的制备方法,包括下述步骤:S1、预处理将(Na0.52K0.44Li0.04)(Nb0.93‑ySb0.07Tay)O3所需的碱金属原料Li2CO3、Na2CO3和K2CO3在60‑80℃烘干8‑12h,并与Nb2O5、Ta2O5、Sb2O3混合后以无水乙醇为分散剂,以氧化锆球为球磨介质进行球磨得到粒径为700‑1300nm的浆料;S2、初次煅烧和球磨粉碎将步骤S1制备的浆料烘干,粉碎过筛后在温度为800℃‑850℃煅烧2‑5h,冷却,然后以无水乙醇为分散剂,以氧化锆球为球磨介质球磨后得到粒径为1500‑2000nm的浆料;S3、二次煅烧和球磨粉碎将步骤S2制备的浆料烘干粉碎过筛后在温度为800℃‑850℃煅烧2‑5h,冷却,然后以无水乙醇为分散剂,以氧化锆球为球磨介质球磨后得到粒径700‑1300nm的浆料,烘干后为铌酸钾钠系陶瓷粉体;S4、流延成型按照铌酸钾钠系陶瓷粉体:粘结剂:溶剂的体积比例为1:0.25‑0.35:0.35‑0.5的比例加入到球磨罐中,以氧化锆球为球磨介质,球磨后的浆料用真空泵除气脱泡1‑2h后静置,使用流延机流延成膜厚为10‑200μm的薄膜;S5、印刷、叠层、热压和切割流延得到的膜片根据需要印刷电极图案,第一层烘干后放上新的膜片,压合后继续印刷电极,如此循环印刷叠层至设计的层数;叠层后的多层膜片塑封,热压后连接好端电极,得到最终的多层陶瓷生坯;S6、排胶、共烧结和极化将陶瓷生坯用氧化铝或氧化锆承烧板夹持后,埋在氧化铝陶瓷粉中,置于电炉内,在200‑500℃间缓慢升温排胶,升温速度为10‑12℃/h;排胶后的生坯在1050‑1100℃下烧结2‑4h,后随炉冷却,极化,即可。
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