[发明专利]微小自聚焦透镜聚焦光斑质量检测方法

摘要

本发明公开了一种微小自聚焦透镜聚焦光斑质量检测装置及方法，本装置包括光源、光纤跳线、五维调整架、微小自聚焦透镜夹具、显微系统、光束分析仪和计算机。运行计算机和光束分析仪，光源的输出光束依次通过光纤跳线、微小自聚焦透镜、显微系统后传输到光束分析仪，光束分析仪探测到的光束的形心位置和光斑大小信息在计算机中显示、记录。该装置及方法能实现微小自聚焦透镜聚焦光斑质量的快速、精确检测，能间接测出微小自聚焦透镜的聚焦焦距。

主权项

一种微小自聚焦透镜聚焦光斑质量检测方法，其特征在于，具体实施步骤为：（1）运行计算机（107）和光束分析仪（106），将光源（101）的输出光束依次经过光纤跳线（102）、微小自聚焦透镜（108）、显微系统（105）后传输到光束分析仪（106），光束分析仪（106）探测到的光束的形心位置和光斑大小在计算机（107）中显示并记录；（2）调整五维调整架（103），将微小自聚焦透镜（108）的中心轴线与显微系统（105）的中心轴线重合，即将光束通过微小自聚焦透镜（108）后对心垂直入射到显微系统（105）的入射面和光束分析仪（106）的探测面；其中对心指光斑中心和显微系统（105）的入射面的中心以及光束分析仪（106）的探测面的中心重合；（3）调节五维调整架（103）的移动旋钮，改变微小自聚焦透镜（108）轴向方向的位置，在计算机（107）中显示并记录移动后待测位置的光斑的形心位置和光斑大小；（4）测出光束通过微小自聚焦透镜（108）后的最小光斑大小及其位置，测出的最小光斑的大小即为微小自聚焦透镜（108）的聚焦光斑大小，最小光斑位置与微小自聚焦透镜（108）的相对距离即为微小自聚焦透镜（108）的焦距。