[发明专利]用于在使用附着载体的情况下制造半导体模块的方法有效
申请号: | 201410255214.3 | 申请日: | 2014-06-10 |
公开(公告)号: | CN104241145B | 公开(公告)日: | 2017-12-08 |
发明(设计)人: | M·施密特 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/58 | 分类号: | H01L21/58;H01L21/68;H01L21/673 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人: | 郑立柱 |
地址: | 德国诺伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于制造半导体模块的方法。为此提供附着载体(3)和多个电路载体(2)。该附着载体(3)具有附着的顶面(32)、以及与该附着的顶面(32)相对的底面(33)。每个电路载体(2)包括陶瓷载体(20)和被应用在陶瓷载体上的上导电层(21)、以及电路载体底面(25)。通过将该多个电路载体(2)放到该附着的顶面(32)上该电路载体(2)的电路载体底面(25)接触该附着的顶面(32)并且粘附在其上,从而形成准成果,其中该多个电路载体(2)能够在维持该准成果的情况下被处理并且之后被从该附着的顶面(32)取下。 | ||
搜索关键词: | 用于 使用 附着 载体 情况 制造 半导体 模块 方法 | ||
【主权项】:
用于制造半导体模块的方法,其具有以下步骤:提供附着载体(3),其具有附着的顶面(32)以及与所述附着的顶面(32)相反的底面(33);提供多个电路载体(2),其中每个所述电路载体具有陶瓷载体(20)、应用在所述陶瓷载体(20)上的上导电层(21)以及电路载体底面(25);通过将所述多个电路载体(2)放到所述附着的顶面(32)上来形成准成果,使得相关的电路载体(2)的所述电路载体底面(25)接触所述附着的顶面(32)并且粘附在其上;在维持所述准成果的情况下处理所述多个电路载体(2);以及将所述多个电路载体(2)从所述附着的顶面(32)上取下。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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