[发明专利]一种新型函数曲线跟随电阻修刻方法

摘要

本发明适用于激光调阻技术领域，本发明提供了一种新型函数曲线跟随电阻修刻方法，采用目前通用的激光修调系统原理，其特征在于：1)修调前确定待修调电阻的起始位和结束位，2)根据待修调电阻的长度、目标总阻值及分割步数计算生成目标阻值线性函数曲线，3)按照计算出的每分割段的目标阻值通过阻值实时测量反馈，通过对每分割段实际阻值和目标阻值的比对结果，来控制激光束实时跟随目标阻值曲线，以达到对阻值的线性修调目的。本发明采用的函数曲线跟随方法不但具有高效率、高精度的特点，同时针对线性电阻来说达到了真正意义上的无限细分，彻底避免了阻值突变的缺点，极大提高了位移传感器和角度传感器的应用精度。

主权项

一种新型函数曲线跟随的激光修刻方法：采用激光束烧灼电阻体，减小电阻体截面积从而改变其阻值的原理，包括有激光器产生激光束，经光束定位系统扩束、聚焦在工作台中处于焦平面位置的待刻电阻面上，通过阻值动态测量系统实时监控，测量到的阻值与预先计算设定的阻值和细分分割数进行比对，来实时自动调整和校正激光束在待调电阻面上的修调轨迹，达到激光束对电阻值的修调线性曲线完全跟随给定函数曲线，达到高精度、高效率的线性电阻修调，且能够无限细分的目的，其具体实施步骤：1)修调前确定待修调电阻的起始位和结束位；2)根据待修调电阻的长度、目标总阻值及分割步数，计算出每分割段的电阻值，生成目标阻值线性函数曲线；3)按照计算出的每分割段的目标阻值通过阻值实时测量反馈，来控制激光束的修调轨迹，从而使激光修刻的每一分割步数的阻值始终跟随目标阻值线性函数曲线而变化，即从起始位置开始，将第一个分割步的阻值测量后与所计算的目标阻值比对，当测量值大于目标值时，则控制激光束由起始位置的内侧边沿向外侧边沿运动，增大其截面积使其相对阻值减小；当测量值小于目标值时，则控制激光束反向运行，使其相对阻值增大，每分割步依次进行，最终达到对阻值的线性修调目的。