[发明专利]从氯硅烷中提纯三氯氢硅的方法和系统有效
| 申请号： | 201410260380.2 | 申请日： | 2014-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN103991874A | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 濮希杰;李锋;王利强;张艳春;张晓峰 | 申请（专利权）人： | 国电内蒙古晶阳能源有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 李志东 |
| 地址： | 010321 内蒙古自治*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种从氯硅烷中提纯三氯氢硅的方法和系统，该方法包括：(1)对氯硅烷进行第一精馏处理，以便获得三氯氢硅、第一冷凝后液、第一冷凝后气和第一液态重组分；(2)将第一液态重组分进行第二精馏处理，以便获得第二冷凝后液、第二冷凝后气和第二液态重组分；(3)将第一冷凝后气和所述第二冷凝后气的至少之一进行冷凝处理，以便获得第三冷凝后液和第三冷凝后气；以及(4)将第一冷凝后液和第三冷凝后液的至少之一进行第三精馏处理，以便获得第四冷凝后液、第四冷凝后气和第三液态重组分。根据本发明实施例的从氯硅烷中提纯三氯氢硅的方法可以制备得到电子级多晶硅所需三氯氢硅。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 提纯 三氯氢硅 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种从氯硅烷中提纯三氯氢硅的方法，所述氯硅烷含有二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅，其特征在于，所述方法包括：(1)对所述氯硅烷进行第一精馏处理，以便获得三氯氢硅、第一冷凝后液、第一冷凝后气和第一液态重组分，其中，所述第一冷凝后液含有二氯二氢硅和三氯氢硅，所述第一液态重组分含有四氯化硅和三氯氢硅；(2)将所述第一液态重组分进行第二精馏处理，以便获得第二冷凝后液、第二冷凝后气和第二液态重组分，其中，所述第二冷凝后液含有四氯化硅；(3)将所述第一冷凝后气和所述第二冷凝后气的至少之一进行冷凝处理，以便获得第三冷凝后液和第三冷凝后气；以及(4)将所述第一冷凝后液和所述第三冷凝后液的至少之一进行第三精馏处理，以便获得第四冷凝后液、第四冷凝后气和第三液态重组分，其中，所述第四冷凝后液含有二氯二氢硅，所述第三液态重组分含有三氯氢硅。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国电内蒙古晶阳能源有限公司，未经国电内蒙古晶阳能源有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410260380.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种减小电子计时误差的方法
- 下一篇：定影构件、定影装置和成像设备
