[发明专利]能低温固化的负型感光性组合物有效
| 申请号： | 201410260541.8 | 申请日： | 2014-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN104238271B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 横山大志;能谷敦子;田代裕治;吉田尚史;野中敏章 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料(卢森堡)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;G03F7/00 |
| 代理公司： | 11216 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 卢森堡(L-1*** | 国省代码： | 卢森堡;LU |
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| 摘要： | 本发明提供一种能低温固化的负型感光性组合物，其能得到透明性高、耐化学品性高的固化膜，并且还提供使用其的图案形成方法。一种负型感光性组合物，其特征在于包含：聚硅氧烷、(甲基)丙烯酸聚合物、含有两个以上(甲基)丙烯酰基的化合物、聚合引发剂以及溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 低温 固化 感光性 组合 | ||
【主权项】：
1.一种负型感光性组合物，其特征在于包含：聚硅氧烷混合物、(甲基)丙烯酸聚合物、含有两个以上(甲基)丙烯酰基的化合物、聚合引发剂以及溶剂，/n其中，该聚硅氧烷混合物不包含除了硅烷醇基或者烷氧基甲硅烷基以外的反应性基团，/n该(甲基)丙烯酸聚合物包含：具有含不饱和键的重复单元的(甲基)丙烯酸聚合物和具有含酸基的重复单元的(甲基)丙烯酸聚合物中的任何一者或两者，/n该(甲基)丙烯酸聚合物的重均分子量为2,000～100,000，/n该聚硅氧烷混合物与该(甲基)丙烯酸聚合物的配混比为90:10～10:90，并且/n该含有两个以上(甲基)丙烯酰基的化合物的分子量为1500以下，/n其中该聚硅氧烷混合物包含：/n第一聚硅氧烷(Ia)，其预烘烤后的膜能溶于5重量％四甲基氢氧化铵水溶液，并且其溶解速度为
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