[发明专利]补偿器及补偿器与干涉仪共轴的调节方法有效
| 申请号： | 201410260851.X | 申请日： | 2014-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN104048596A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 何欣;田富湘;谭进国 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G02B27/00 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 王丹阳 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种补偿器及一种补偿器与干涉仪共轴的调节方法，属于光学技术领域。解决了现有技术中补偿器与干涉仪共轴的调节方法精度低、效率低的技术问题。本发明的补偿器，包括从前向后沿同一光轴依次设置的补偿镜和场镜，还包括光学基准平面镜，光学基准平面镜不遮挡补偿镜的通光口径，且光学基准平面镜的法向与补偿镜的光轴的夹角小于等于3秒，光学基准平面镜的反射面在前。本发明的补偿器能够用于非球面检测，提高补偿器与干涉仪的共轴精度，从而提高非球面的检测及加工精度。 | ||
| 搜索关键词： | 补偿 干涉仪 调节 方法 | ||
【主权项】：
补偿器，包括从前向后沿同一光轴依次设置的补偿镜(3)与场镜(4)，其特征在于，还包括，光学基准平面镜(2)，所述光学基准平面镜(2)不遮挡补偿镜(3)的通光口径，且光学基准平面镜(2)的法向与补偿镜(3)的光轴的夹角小于等于3秒，光学基准平面镜(2)的反射面在前。
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