[发明专利]抗蚀剂用共聚物以及抗蚀剂用组合物

摘要

本发明提供一种抗蚀剂用共聚物，使用该抗蚀剂用共聚物时，灵敏度良好，形成的抗蚀剂图案的形状良好，抗蚀剂图案作为掩膜进行干蚀刻时的耐干蚀刻性良好，能够控制对基板进行干蚀刻加工时形成的图案的表面粗糙度。该抗蚀剂用共聚物具有基于具有金刚烷环等的环烃基、及与该环烃基键合的2个以上氰基的(甲基)丙烯酸酯衍生物的结构单元(1)、具有内酯骨架和桥环结构的结构单元(2)和具有酸离去基团的结构单元(3)。

主权项

一种抗蚀剂用共聚物，其特征在于，具有：下述式(1)表示的结构单元、下述式(2)表示的结构单元和具有酸离去基团的结构单元；[化1]式(1)中，R11表示氢原子或甲基，L1表示具有取代基或不具有取代基的碳原子数1～20的直链的二价烃基、具有取代基或不具有取代基的碳原子数2～20的含支链的二价烃基、可含取代基和/或杂原子的碳原子数2～20的二价环烃基或者单键，Z1表示单环或多环的原子团，R12表示氢原子或碳原子数1～4的烷基，或者，R12和Z1键合形成环结构，p表示2～4的整数，2～4个氰基与Z1的原子团上的碳原子键合，2个氰基与同一个碳原子或不同的碳原子键合，Z2表示碳原子数1～12的直链的二价烃基或碳原子数2～12的含支链的二价烃基，i1表示0～3的整数；[化2]式(2)中，R'表示氢原子或甲基，L'表示具有取代基或不具有取代基的碳原子数1～20的直链的二价烃基、具有取代基或不具有取代基的碳原子数2～20的含支链的二价烃基、可含取代基和/或杂原子的碳原子数2～20的二价环烃基或者单键，Z'表示单环或多环的原子团，Z'与内酯环缩合，n表示0～4的整数，Z5表示碳原子数1～12的直链的二价烃基或碳原子数2～12的含支链的二价烃基，i'表示0～3的整数。