[发明专利]基板检查装置

摘要

本发明提供一种准确地检测在绝缘检查时发生的布线图案间的火花现象的基板检查装置。上述基板检查装置执行在基板上形成的多个布线图案间的绝缘检查，其特征在于，具备：电源单元，为了对第一检查部与第二检查部之间设定规定的电位差，与第二检查部连接并且对上述第二检查部施加电压；检测单元，检测第一检查部与第二检查部之间的电压；以及判定单元，在检测单元所检测的电压发生电压降落的情况下，判定为第一检查部与第二检查部存在不良，选出单元具备使导通状态为导通/切断(ON/OFF)的切换部和与切换部串联连接的电压降落部，检测单元的一端与第一检查部和电压降落部间导通连接。

主权项

一种执行在基板上形成的多个布线图案间的绝缘检查的基板检查装置，其特征在于，上述基板检查装置具备：选出单元，从上述多个布线图案中选出作为检查对象的一个布线图案作为第一检查部，并且选出上述第一检查部以外的作为检查对象的所有布线图案作为第二检查部；电源单元，为了对上述第一检查部与上述第二检查部之间设定规定的电位差，与上述第二检查部连接并且对上述第二检查部施加电压；检测单元，检测上述第一检查部与上述第二检查部之间的电压；以及判定单元，在上述检测单元所检测的电压发生电压降落的情况下，判定为上述第一检查部与上述第二检查部存在不良，上述选出单元具备使导通状态为导通/切断的切换部和与上述切换部串联连接的电压降落部，上述检测单元的一端与上述第一检查部和上述电压降落部间导通连接。