[发明专利]微机电系统开关有效
| 申请号： | 201410262092.0 | 申请日： | 2014-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN104064407A | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 刘泽文;龚著浩;郭昕 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出一种微机电系统开关，包括：基底；微波传输线，设置在基底上；多通道条形极板的一端固定设置在基底上；信号功率分配过渡区与多通道条形极板的固定端相连，用于实现对多通道条形极板的功率分配；驱动电极设置在基底上且位于多通道条形极板的正下方，驱动电极上电时驱动多通道条形极板弯曲以使多通道条形极板与微波传输线接触而形成通路。本发明的微机电系统开关，功率容量大、可靠性高、结构简单。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 开关 | ||
【主权项】：
一种微机电系统开关，其特征在于，包括：基底；微波传输线，所述微波传输线设置在所述基底上；多通道条形极板，所述多通道条形极板的一端固定设置在所述基底上；信号功率分配过渡区，所述信号功率分配过渡区与所述多通道条形极板的固定端相连，用于实现对所述多通道条形极板的功率分配；驱动电极，所述驱动电极设置在所述基底上且位于所述多通道条形极板的正下方，所述驱动电极上电时驱动所述多通道条形极板弯曲以使所述多通道条形极板与所述微波传输线接触而形成通路。
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