[发明专利]掩模版的清洗方法及装置

摘要

本发明提供一种掩模版的清洗方法及装置，所述方法包括以下步骤步骤1、提供待清洗掩模版，该掩模版由金属制成，其上附有有机材料膜层；步骤2、对该待清洗的掩模版进行微波加热，使附着在掩模版的有机材料膜层破碎；步骤3、停止微波加热,对微波加热过的掩模版喷淋药液，将破碎的有机材料膜层冲洗脱离掩模版；步骤4、使用药液对掩模版上剩余的有机材料膜层进行清洗；步骤5、对清洗过的掩模版进行漂洗，以洗掉残留在掩模版上的药液；步骤6、使用微波对掩模版进行干燥处理。本发明提供的一种掩模版的清洗方法及装置，大大缩短了掩模版的清洗周期，提高了清洗产能，并降低了材料残留的几率。

主权项

一种掩模版的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、提供待清洗掩模版，该掩模版由金属制成，其上附有有机材料膜层；步骤2、对该待清洗的掩模版进行微波加热，使附着在掩模版的有机材料膜层破碎；步骤3、停止微波加热,对微波加热过的掩模版喷淋药液，将破碎的有机材料膜层冲洗脱离掩模版；步骤4、使用药液对掩模版上剩余的有机材料膜层进行清洗；步骤5、对清洗过的掩模版进行漂洗，以洗掉残留在掩模版上的药液；步骤6、使用微波对掩模版进行干燥处理；所述步骤2与步骤3在一微波干式清洗槽里进行，所述微波干式清洗槽包括槽体、设于槽体底部的微波发生装置、及设于槽体顶部的药液喷淋头，通过微波发生装置对掩模版进行微波加热，通过药液喷淋头对掩模版喷淋药液。