[发明专利]射频功率测量系统

摘要

本发明提出一种射频功率测量系统，包括用于传输射频功率信号的同轴功率传输装置，包括内导体棒和外导体环，内导体棒套设在外导体环内；电压探头，设置在外导体环上，用于检测同轴功率传输装置的射频电压信号；第一电流探头和第二电流探头，设置在外导体环上且沿内导体棒的轴向分布在电压探头的两侧；信号采集与处理器，分别与电压探头、第一电流探头和第二电流探头相连，以根据电压探头检测到的射频电压信号、第一电流探头和第二电流探头检测到的射频电流信号确定射频功率信号的射频功率。本发明的射频功率测量系统，能够消除电压探头和电流探头的空间距离导致的相位误差，对射频等离子体耦合功率具有较高的测量精度，且该系统结构简单、可靠。

主权项

一种射频功率测量系统，其特征在于，包括：用于传输射频功率信号的同轴功率传输装置，所述同轴功率传输装置包括内导体棒和外导体环，所述内导体棒套设在所述外导体环内；电压探头，所述电压探头设置在所述外导体环上，用于检测所述同轴功率传输装置的射频电压信号；第一电流探头和第二电流探头，所述第一电流探头和第二电流探头设置在所述外导体环上且沿所述内导体棒的轴向分布在所述电压探头的两侧，其中，所述第一电流探头和所述电压探头之间的距离与所述第二电流探头和所述电压探头之间的距离相同；信号采集与处理器，所述信号采集与处理器分别与所述电压探头、所述第一电流探头和第二电流探头相连，以根据所述电压探头检测到的射频电压信号、所述第一电流探头和第二电流探头检测到的射频电流信号确定所述射频功率信号的射频功率，其中，所述信号采集与处理器通过同轴电缆采集所述电压探头检测到的射频电压信号、所述第一电流探头和所述第二电流探头检测到的射频电流信号；标定模块，所述标定模块用于通过网络分析仪对所述电压探头、所述第一电流探头和所述第二电流探头进行标定，以得到所述电压探头与所述内导体棒之间的电容，以及所述第一电流探头或所述第二电流探头所在处的电感。