[发明专利]二维纳米柔性运动平台

摘要

本发明公开了一种二维纳米柔性运动平台。所述二维纳米柔性运动平台包括基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；X向驱动器和Y向驱动器；第一X向柔性解耦件和第一Y向柔性解耦件，所述第一X向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述终端平台和所述X向驱动器相连，所述第一Y向柔性解耦件沿Y向延伸且分别与所述基座和所述X向驱动器相连；以及第二X向柔性解耦件和第二Y向柔性解耦件，所述第二X向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述基座和所述Y向驱动器相连，所述第二Y向柔性解耦件沿Y向延伸且分别与所述终端平台和所述Y向驱动器相连。根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台具有运动精度高等优点。

主权项

一种二维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；X向驱动器和Y向驱动器；第一X向柔性解耦件和第一Y向柔性解耦件，所述第一X向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述终端平台和所述X向驱动器相连，所述第一Y向柔性解耦件沿Y向延伸且分别与所述基座和所述X向驱动器相连；以及第二X向柔性解耦件和第二Y向柔性解耦件，所述第二X向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述基座和所述Y向驱动器相连，所述第二Y向柔性解耦件沿Y向延伸且分别与所述终端平台和所述Y向驱动器相连，所述第一X向柔性解耦件、所述第二X向柔性解耦件、所述第一Y向柔性解耦件和所述第二Y向柔性解耦件中的每一个为柔性板簧；相对X向对称的第一柔性支撑件和第二柔性支撑件，所述第一柔性支撑件和所述第二柔性支撑件中的每一个分别与所述基座和所述终端平台相连，所述X向驱动器、所述第一X向柔性解耦件和所述第一Y向柔性解耦件位于所述第一柔性支撑件和所述第二柔性支撑件之间；以及相对X向对称的第三柔性支撑件和第四柔性支撑件，所述第一柔性支撑件与所述第三柔性支撑件相对Y向对称，所述第二柔性支撑件与所述第四柔性支撑件相对Y向对称，其中所述第三柔性支撑件和所述第四柔性支撑件中的每一个分别与所述基座和所述终端平台相连，所述Y向驱动器、所述第二X向柔性解耦件和所述第二Y向柔性解耦件位于所述第二柔性支撑件和所述第四柔性支撑件之间。