[发明专利]形状测量设备和形状测量方法有效
| 申请号： | 201410266552.7 | 申请日： | 2010-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN104034280B | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 郑仲基;金珉永;李承埈 | 申请（专利权）人： | 株式会社高永科技 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01N21/956 |
| 代理公司： | 西安亿诺专利代理有限公司61220 | 代理人： | 熊雁 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了形状测量设备和形状测量方法。包括工作台，支撑目标基底;图案投影部，包括光源、光栅部件和投影透镜部件，光栅部件部分地透射和阻挡由光源产生的光以产生光栅图像，投影透镜部件在目标基底的测量目标上生成光栅的像;图像捕获部，捕获被目标基底的测量目标反射的光栅图像;控制部，控制工作台、图案投影部和图像捕获部，计算与测量目标对应的光栅图像的可靠性指数和光栅图像的相位，并利用可靠性指数和相位检查测量目标。因此，可以提高测量的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 形状 测量 设备 测量方法 | ||
【主权项】：
一种测量三维形状的方法，所述方法包括以下步骤：在多个方向上将光栅图案光N次照射到测量目标上，获取从上述测量目标反射的N个图案图像的步骤；从获得的图案图像提取对应于上述测量目标的每个位置的在每个方向上的相位和亮度的步骤；利用采用上述亮度作为参数的加权函数提取上述每个方向上的高度加权的步骤；利用基于上述相位的测量目标的高度及上述高度加权，计算测量目标在上述每个方向上的加权高度的步骤；及包括利用在上述每个方向上的加权高度计算在上述每个位置上的高度的步骤。
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