[发明专利]一种测量薄膜纵向热导率的装置及方法

摘要

本发明涉及一种测量薄膜纵向热导率的方法。本装置包括锁相放大器，电流源函数发生器，差分放大器，可调电阻器，金属线，热电模块，直流稳压源。本方法为可克服因长度、宽度带来的测量误差的一种更加精确的3ω法测量薄膜纵向热导率的方法。本发明通过沉积不同宽度、长度的金属线，进行多次不同宽度、长度测量，克服因长度、宽度带来的测量误差，同时可以测试不同导电性能的薄膜材料。本测试方法基于差分3ω法原理，操作方便，响应快，测量精度高。

主权项

一种测量薄膜纵向热导率的装置，包括：锁相放大器(3f)，电流源函数发生器(3c)，差分放大器(3e)，可调电阻器(3g)，金属线(3d)，温控台热电模块(3b)和直流稳压源(3a)；其特征在于：所述的差分放大器（3e）包含第一差分放大器（3e1）和第二差分放大器（3e2）；所述的金属线（3d）引出四个接触电极用来连线，包括第一，第二，第三，第四4个接触电极（3d1，3d2，3d3，3d4）；所述电流源函数发生器(3c)与金属线接触电极（3d1）相连，用来给金属线(3d)产生设定值的电流；第三金属线接触电极(3d3)与差分放大器(3e1)相连，用来放大电压信号；第二金属线接触电极(3d2)与可调电阻器(3g)相连；可调电阻器(3g)与第二差分放大器(3e2)相连，用来放大电压信号；与金属线(3d)和可调电阻器(3g)分别经第一和第二差分放大器（3e1，3e2）与锁相放大器（3f）相连，用来提取电压信号；直流稳压源(3a)与温控台热电模块(3b)相连，用来提供均匀的加热。