[发明专利]一种微光学陀螺Sagnac效应光波导芯片及其制备方法无效
| 申请号： | 201410270111.4 | 申请日： | 2014-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN104035158A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 杨添舒;刘雯;时彦朋;马静;张端;郑婉华;王晓东;杨富华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/13 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种微光学陀螺Sagnac效应光波导芯片及其制备方法。该光波导芯片包括：衬底；二氧化硅下包层；二氧化硅芯区光波导，其包括输入直波导部分、两个圆弧型弯曲波导部分、阿基米德螺线型弯曲波导部分和输出直波导部分；二氧化硅上包层，其中，输入直波导与阿基米德螺线型弯曲波导的螺线环垂直交叉，以减小X交叉点损耗；两个圆弧型弯曲波导反向相接，平滑地将输入直波导末端与阿基米德螺线型弯曲波导起始端连接起来，并在波导连接处的端面引入最佳的错位偏移量，使得弯曲损耗较小。本发明能够提高陀螺仪的灵敏度，降低陀螺仪的噪声。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微光 陀螺 sagnac 效应 波导 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种微光学陀螺Sagnac效应光波导芯片，其特征在于，该光波导芯片包括：衬底；二氧化硅下包层，形成于衬底的上方；二氧化硅芯区光波导，形成于二氧化硅下包层的上方；二氧化硅上包层，形成于所述二氧化硅芯区光波导的上方。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院半导体研究所，未经中国科学院半导体研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410270111.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：起重机臂架限位开关装置及履带起重机
- 下一篇：一种挂篮导梁前行吊架轴承套件
