[发明专利]一种套筒靶材石墨绑定技术有效
| 申请号： | 201410270154.2 | 申请日： | 2014-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN104005001A | 公开（公告）日： | 2014-08-27 |
| 发明（设计）人： | 罗文富;石煜 | 申请（专利权）人： | 厦门映日新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 方惠春 |
| 地址： | 361000 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种套筒靶材石墨绑定技术。步骤为：将不锈钢管衬管外径，套筒靶材内径，分别车圆至一定直径进行绑定；将靶材套筒上包裹加热包加热；把熔化好的金属涂在靶材套筒内壁；将3块厚度为1.5mm石墨纸放在专用平台上，加热石墨纸；将熔化好的金属涂在石墨纸上；将铜丝网放到石墨纸上；再将铜丝网的另外一面放到涂了金属的靶材套筒上；加热包降温至金属固化，固定好；最后把绑定好石墨纸的靶材旋入不锈钢管内，石墨纸与不锈钢管3段间隙使用高温导电胶填充。本发明方法增加了靶材导电、导热性；所得产品靶材与绑定衬管紧密贴合90%；同时具有一定延展性；导电导热性好，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 套筒 石墨 绑定 技术 | ||
【主权项】：
一种套筒靶材石墨绑定技术，其特征在于，包括如下步骤，1）不锈钢管绑定：选用不锈钢管作为衬管，外径车圆至一定直径进行绑定； 2）套筒靶材绑定：将套筒靶材内径车圆至一定直径进行绑定； 3）在步骤2）所得靶材套筒上包裹加热包，将靶材套筒加热到300度左右；用超声波焊接机把熔化好的金属涂在靶材套筒内壁；4）将3块厚度为1.5mm石墨纸放在专用平台上，加热石墨纸到300度左右；将熔化好的金属涂在石墨纸上；将铜丝网放到石墨纸上；再将铜丝网的另外一面放到涂了金属的靶材套筒上；加热包降温至金属固化，固定好即可；5）最后把绑定好石墨纸的靶材旋入步骤1）所得不锈钢管内，石墨纸与不锈钢管3段间隙使用高温导电胶填充。
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