[发明专利]叠对误差的校正方法

摘要

叠对误差的校正方法包括下列步骤。首先检测基板上的叠对标记，以产生叠对标记信息，其中叠对标记包括至少一对第一标记图案以及设置于第一标记图案上的至少一第二标记图案。接着，利用叠对标记信息，以获得两个第一标记图案间的错位数值(offset)以及获得第二标记图案和两个第一标记图案其中一个之间的偏移数值。最后，利用错位数值补偿偏移数值，以获得修正偏移数值。

主权项

1.一种叠对误差的校正方法，其特征在于，包括：检测一基板上的一叠对标记，以产生一叠对标记信息，其中所述叠对标记包括：至少一对第一标记图案，设置于所述基板上的一第一层内；至少一第二标记图案，设置于不同于所述第一层的一第二层内；利用所述叠对标记信息，以获得所述两个第一标记图案间的错位数值；利用所述叠对标记信息，以获得所述第二标记图案和所述两个第一标记图案至少其中一个之间的偏移数值；以及利用所述错位数值补偿所述偏移数值，以获得一修正偏移数值。