[发明专利]脉冲射频电源的阻抗匹配方法及等离子体设备的匹配方法

摘要

本发明涉及脉冲射频电源的阻抗匹配方法及等离子体设备的匹配方法，脉冲射频电源的阻抗匹配方法包括S1，设定阻抗可调元件位于预设数值及脉冲射频电源的脉冲频率为预设脉冲频率；S2，判断预设脉冲频率是否大于脉冲阈值频率，若是，进入S3；若否，进入S4；S3，使脉冲射频电源的脉冲频率等于脉冲阈值频率，开启脉冲射频电源，且在其自动射频扫频功能下来实现扫频匹配，在匹配后使脉冲射频电源的脉冲频率切换为预设脉冲频率；S4，开启脉冲射频电源，且在其自动射频扫频功能下来实现扫频匹配。脉冲射频电源的阻抗匹配方法可以降低射频电源实现阻抗匹配的难度，因而可以提高脉冲射频电源的匹配精度和匹配的稳定性，从而提高工艺的稳定性。

主权项

一种脉冲射频电源的阻抗匹配方法，所述脉冲射频电源与阻抗匹配器相连，所述阻抗匹配器包括阻抗可调元件，所述脉冲射频电源具有自动射频扫频功能，其特征在于，所述脉冲射频电源的阻抗匹配方法包括以下步骤：步骤S1，设定所述阻抗可调元件位于预设数值，以及设定所述脉冲射频电源的脉冲频率为预设脉冲频率；步骤S2，判断所述预设脉冲频率是否大于脉冲阈值频率，若是，则进入步骤S3；若否，则进入步骤S4；步骤S3，使所述脉冲射频电源的脉冲频率等于所述脉冲阈值频率，并开启所述脉冲射频电源，且在其自动射频扫频功能下来进行扫频匹配，并且，在匹配后使所述脉冲射频电源的脉冲频率切换为所述预设脉冲频率；步骤S4，开启所述脉冲射频电源，且在其自动射频扫频功能下来进行扫频匹配。