[发明专利]一种修正双波段测温误差的温度测量方法及系统有效

专利信息
申请号: 201410272583.3 申请日: 2014-06-18
公开(公告)号: CN105333962B 公开(公告)日: 2018-06-22
发明(设计)人: 泷口治久 申请(专利权)人: 中微半导体设备(上海)有限公司
主分类号: G01J5/52 分类号: G01J5/52
代理公司: 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 代理人: 张静洁;包姝晴
地址: 201201 上海市浦东新*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种修正双波段测温误差的温度测量方法及系统,在校正阶段通过双波段测温的测温仪测算一个基准物体在两个不同波长下的辐射能量和温度,通过拟合求取表示发射率比值的对数与之间关系的方程式;在测量阶段,通过双波段测温的测温仪测算一个被测物体在两个波长下对应的辐射能量和温度,并根据算出的数值和校正阶段求得的方程式,计算被测物体的实际温度。由于的数值是基于辐射能量的比值来计算的,不受测量路径上干扰介质的影响,因此本发明可以有效修正双波段测温误差,温度测量结果更准确。
搜索关键词: 双波段 测温误差 辐射能量 被测物体 温度测量 测温仪 波长 修正 测温 温度测量结果 测算 测量路径 基准物体 发射率 拟合 校正 测量
【主权项】:
1.一种修正双波段测温误差的温度测量方法,其特征在于,包含:在校正阶段,A1、通过双波段测温的测温仪Hs,来测算一个基准物体在两个不同波长λ1、λ2下对应的辐射能量P1s、P2s及比值P1s/P2s;A2、利用发射率检测装置检测获得基准物体表面在波长λ1、λ2下对应的发射率数值ε1s、ε2s,并计算获得ln(ε1s/ε2s);或者,利用基准测温仪Ws获得基准物体的实际温度TWs计算获得ln(ε1s/ε2s);A3、根据所述比值P1s/P2s计算获得基准物体的双波长温度测量值Tdual‑s:A4、对基准物体进行多次A1‑A3步骤的测量,并获得多个包括Tdual‑s与相应温度下的ln(ε1s/ε2s)数值的数据组,得到表示ln(ε1s/ε2s)与1/Tdual‑s之间关系的方程式;在测量阶段,B1、通过双波段测温的测温仪Hs,来测算一个被测物体在两个波长λ1、λ2下对应的辐射能量P1、P2及比值P1/P2;B2、根据所述比值P1s/P2s计算获得被测物体的双波长温度测量值Tdual:B3、将所述双波长温度测量值Tdual代入校正阶段求得的方程式计算得到f(Tdual),并计算获得双波长温度修正值,根据所述双波长温度测量值Tdual和所述双波长温度修正值计算被测物体的实际温度T:
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