[发明专利]气体喷淋装置、化学气相沉积装置和方法

摘要

一种气体喷淋装置、化学气相沉积装置和方法，气体喷淋装置包括：喷淋头，喷淋头包括中心区和包围中心区的外围区，喷淋头的中心区和外围区具有平行排列的若干第二喷淋口，第二喷淋口用于输出第二气体，相邻第二喷淋口之间具有第一喷淋口，第一喷淋口包括位于中心区的第一子喷淋口、以及位于外围区的第二子喷淋口，第一子喷淋口和第二子喷淋口相互隔离，第一子喷淋口用于输出第一气体，第二子喷淋口用于输出第二气体；与第一子喷淋口连接的第一气体通道；与第二喷淋口和第二子喷淋口连接的第二气体通道。采用气体喷淋装置的化学气相沉积装置的成膜质量改善。

主权项

1.一种气体喷淋装置，其特征在于，包括：喷淋头，所述喷淋头底面喷气区域包括中心区和包围所述中心区的外围区，所述喷淋头的中心区和外围区具有平行排列的若干第二喷淋口，所述第二喷淋口用于输出第二气体，相邻第二喷淋口之间具有第一喷淋口，所述第一喷淋口和第二喷淋口相互交替分布，所述第一喷淋口包括位于中心区的第一子喷淋口、以及位于外围区的第二子喷淋口，所述第一子喷淋口和第二子喷淋口相互隔离，所述第一子喷淋口用于输出第一气体，所述第二子喷淋口用于输出第二气体，所述第一气体和第二气体之间能够发生成膜反应；与第一子喷淋口连接的第一气体通道，所述第一气体自所述第一气体通道通过，并从第一子喷淋口输出；与第二喷淋口和第二子喷淋口连接的第二气体通道，所述第二气体通道与第一气体通道相互隔离，所述第二气体自所述第二气体通道通过，并从第二喷淋口和第二子喷淋口输出。