[发明专利]硅片组下线管控方法有效
| 申请号： | 201410273949.9 | 申请日： | 2014-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN105335833B | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 张寒汀 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G06Q10/08 | 分类号： | G06Q10/08;G06Q50/28 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硅片组下线管控方法，通过对硅片组进行唯一编号的设置，以减少在拿取硅片组时发生错误几率；通过在获取硅片组后将其与制造执行系统上的LOT编号进行匹配，以对硅片组进行确认，从而可以避免发错硅片组的情况；又通过自动化设备将匹配后的硅片组进行下线操作，中途避免了因人工下线而导致的误操作等错误情况。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 线管 方法 | ||
【主权项】：
一种硅片组下线管控方法，其特征在于，包括：步骤S1、提供具有编号且编号不重复的若干硅片组；步骤S2、在一个制造终端上产生LOT编号；步骤S3、根据硅片的种类，将所述硅片组的编号与LOT编号进行绑定；步骤S4、制定硅片组的投料计划，并根据该投料计划获取相应的硅片组；步骤S5、将获取的硅片组的编号与所述制造终端上的LOT编号进行匹配，以确定需要下线的硅片组的编号；步骤S6、所述制造终端根据该需要下线的硅片组的编号将对应的硅片组进行下线操作。
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G06 计算；推算；计数
G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10-00 行政；管理
G06Q10-02 .预定，例如用于门票、服务或事件的
G06Q10-04 .预测或优化，例如线性规划、“旅行商问题”或“下料问题”
G06Q10-06 .资源、工作流、人员或项目管理，例如组织、规划、调度或分配时间、人员或机器资源；企业规划；组织模型
G06Q10-08 .物流，例如仓储、装货、配送或运输；存货或库存管理，例如订货、采购或平衡订单
G06Q10-10 .办公自动化，例如电子邮件或群件的计算机辅助管理
G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
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