[发明专利]一种远心条纹相位测量装置

摘要

本发明公开了一种远心条纹相位测量装置，包括投影单元和成像单元，投影单元包括投影镜头、光源和条纹图像发生器；光源照射条纹图像发生器生成条纹图像、投影镜头将条纹图像投影至被测物体；成像单元包括成像元件和成像镜头，成像镜头将被测物体上的条纹图像成像于成像元件上；所述投影单元的投影光轴和成像单元的成像光轴对称交叉，投影单元的放大倍数与成像单元的放大倍数互为倒数；投影镜头与成像镜头焦距相等。本发明在景深范围内对投影条纹等间距成像，在微观测量和宏观测量领域均实现了非远心光路上的“远心条纹”效果；提高了相位测量精度。

主权项

1.一种远心条纹相位测量装置，包括投影单元和成像单元，投影单元，包括投影镜头、光源和条纹图像发生器；光源照射条纹图像发生器生成条纹图像、投影镜头将条纹图像投影至被测物体；成像单元，包括成像元件和成像镜头，成像镜头将被测物体上的条纹图像成像于成像元件上；其特征在于：所述投影单元的投影光轴和成像单元的成像光轴对称交叉，投影单元的放大倍数与成像单元的放大倍数互为倒数；所述的投影镜头与所述的成像镜头焦距相等，被测物体高度平面上投影‑成像的放大倍数与参考平面上投影‑成像的放大倍数相等，使得参考平面上的投影条纹图像的条纹间距相等，参考平面与景深范围内的条纹图像的条纹间距也相等。