[发明专利]一种立方式激光剥蚀样品室

摘要

本发明应用于现有主流激光剥蚀技术中，具体涉及一种立方式激光剥蚀样品室，包括立方体形状的空心壳体，空心壳体的上表面和下表面分别开有观察窗和透射光入射口，观察口和透射光入射口上装有透明窗，空心壳体的前侧面开有矩形的放置口，样品靶架水平通过放置口固定在空心壳体内部并在其上方形成密封的内腔，密封侧板通过螺钉固定在空心壳体的前侧面上，空心壳体的前侧面和密封侧板之间通过O型密封圈密封；克服现有的样品室放置样品少，经常换样品容易影响样品分析的准确性的问题，能够一次性装设多个样品进行实验，不需要经常更换样品，继而保证了样品室内气体的稳定，能够保证分析结果的准确性。

主权项

一种立方式激光剥蚀样品室，包括横置的立方体形状的空心壳体（1），空心壳体（1）的上表面和下表面分别开有观察窗（2）和透射光入射口（3），观察口（2）和透射光入射口（3）上装有透明窗，其特征在于：所述空心壳体（1）的前侧面开有矩形的放置口（4），样品靶架（5）水平通过放置口（4）固定在空心壳体（1）内部并在其上方形成密封的内腔（6），密封侧板（7）通过螺钉固定在空心壳体（1）的前侧面上，空心壳体（1）的前侧面和密封侧板（7）之间通过O型密封圈密封；所述内腔（6）相对的两个侧面上分别开有进气口（8）和出气口（9），所述出气口（9）与进气口（8）同轴。