[发明专利]光学成像装置在审
| 申请号： | 201410274725.X | 申请日： | 2014-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN105182690A | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | 巴布夏·罗伯特 | 申请（专利权）人： | 自然兴电通科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/18 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 马廷昭 |
| 地址： | 中国台湾桃园县芦*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明有关一种光学成像装置，特别是指一种以激光束为光源的成像装置崭新设计，其主要由光源装置、光源调整装置及成像装置所构成，该光源装置设有预定的激光阵列，光源调整装置具有预定数量的反射镜，以将光源装置的激光束聚焦，并均匀的反射到成像装置，该成像装置具有数字微型反射镜元件(DigitalMicromirrorDevice，简称DMD)及镜头，而借以激光束为曝光源经DMD成像装置，成像于基板上，具有提供高功率、稳定且无误差的高精密曝光源供成像之所需。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 成像 装置 | ||
【主权项】：
一种光学成像装置，其特征在于，其包括有： 光源装置，设有激光阵列； 光源调整装置，具有反射镜，该反射镜将该光源装置的激光束聚焦，并均匀的反射到成像装置； 成像装置，具有数字微型反射镜元件及镜头，以该激光束为曝光源经该成像装置，成像于基板上。
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