[发明专利]一种线性电机和气浮复合驱动的垂向伺服机构

摘要

一种线性电机和气浮复合驱动的垂向伺服机构，属于物理仿真领域。所述垂向伺服机构包括气路部分、线性电机部分、传感器部分和垂向运动部分，所述的垂向运动部分由基座、内套筒、外套筒和上平面组成；所述的气路部分位于垂向运动部分外部，由高压气瓶、开关阀、比例阀、气压控制器组成；所述的线性电机部分位于垂向运动部分内部，包括动子和定子；所述传感器部分位于垂向运动部分外部，安装在外套筒的下部。本发明通过气瓶为内套筒腔部提供恒压气体，并通过调节出口阀开度使外套筒部分得到重力补偿，控制线性电机实现外套筒的垂向运动。本发明具有控制方便、摩擦力小、行程长等优点。

主权项

一种线性电机和气浮复合驱动的垂向伺服机构，其特征在于所述垂向伺服机构包括气路部分、线性电机部分、传感器部分和垂向运动部分，其中：所述的垂向运动部分由基座、内套筒、外套筒和上平面组成，内套筒的下端与基座无缝固联，外套筒的上端与上平面无缝固联，外套筒的下端套于内套筒上部的外面；所述的气路部分位于垂向运动部分外部，由高压气瓶、开关阀、比例阀、气压控制器组成，高压气瓶安装在基座上面，高压气瓶与内套筒之间连接有开关阀，比例阀与内套筒相连，气压控制器与比例阀连接；所述的线性电机部分位于垂向运动部分内部，包括动子和定子，动子的一端和上平面固联，定子通过刚体与内套筒内壁上部固联，定子上固定有垂向运动控制器；所述传感器部分位于垂向运动部分外部，安装在外套筒的下部。