[发明专利]基于差动测量的高精度气浮垂向调节机构有效
| 申请号： | 201410277199.2 | 申请日： | 2014-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN104019940A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 刘杨;李宗哲;陈兴林;强盛;刘启循;李欣;陈震宇 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00;G01L13/00;B64G7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 基于差动测量的高精度气浮垂向调节机构，属于地面全物理仿真领域。为了解决在测量垂向运动机构测量气腔压力时压力传感器量程过大而带来的精度变差、非线性度及偏差相应增大的问题，所述气浮垂向调节机构由垂向运动机构、基准压力气腔、绝对压力传感器、相对压力传感器构成，垂向运动机构旁安置有基准压力腔，绝对压力传感器安置于基准压力腔内，垂向运动机构由垂向气浮轴承外套和垂向气浮轴承内套组成，垂向气浮轴承外套和垂向气浮轴承内套之间为垂向气腔，相对压力传感器安置于垂向气腔与基准压力腔之间。本发明在测量垂向运动机构绝对压力时采用基准压力腔绝对压力与相对压力叠加的方式，具有较高的测量精度，可达到较为良好的实验效果。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 差动 测量 高精度 气浮垂 调节 机构 | ||
【主权项】：
一种基于差动测量的高精度气浮垂向调节机构，其特征在于所述气浮垂向调节机构由垂向运动机构、基准压力气腔、绝对压力传感器、相对压力传感器构成，垂向运动机构旁安置有基准压力腔，绝对压力传感器安置于基准压力腔内，相对压力传感器安置于垂向运动机构的垂向气腔与基准压力腔之间。
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