[发明专利]一种受潮石墨舟去潮工艺

摘要

一种受潮石墨舟去潮工艺，采用以下顺序工艺步骤： 步骤一，将受潮的石墨舟放至炉管内；步骤二，对炉管进行抽真空，炉内压强保持在100mTorr以内；步骤三，向炉内充氮气，使气压保持在500-800mbar；步骤四，对炉管进行升温至300-500℃；步骤五，对炉管再次抽真空，炉内压强保持在100mTorr以内；步骤六，执行去潮：控制炉管进气流量在5slm，压强控制在3000mTorr，持续进行30-60min；步骤七，将石墨舟取出炉管并室温下静置，本发明工艺简单，去潮过程中仅需氮气即可达到去潮目的，并且不会对石墨舟造成损伤，极大的提高了效率，并减少了企业成本，避免了常规处理过程中的拆舟装舟过程，避免了氢氟酸溶液的消耗，省去了镀舟过程，节省了硅烷氨气，节省时间并提高产能。

主权项

一种受潮石墨舟去潮工艺，其特征在于采用以下顺序工艺步骤：  步骤一，将受潮的石墨舟放至炉管内；步骤二，对炉管进行抽真空，炉内压强保持在100mTorr以内；步骤三，向炉内充氮气，使气压保持在500‑800mbar；步骤四，对炉管进行升温至300‑500℃；步骤五，对炉管再次抽真空，炉内压强保持在100mTorr以内；步骤六，执行去潮：控制炉管进气流量在5slm，压强控制在3000mTorr，持续进行30‑60min；步骤七，将石墨舟取出炉管并室温下静置。