[发明专利]一种芯片抗氧化研磨剂

摘要

本发明公开了一种芯片抗氧化研磨剂，其特征在于，包括下列重量份数的物质：复硝酚钠4-7份，荼乙酸2-6份，酒石酸20-31份，苯甲酸甲酯1-4份，聚乙烯醇5-10份，研磨粒子3-7份，过氧化氢5-10份，纳米硫酸钙15-20份，二氧化氯11-16份，三乙胺8-12份，二氧化硅4-5份，分散剂1份。本发明半导体芯片化学机械研磨剂具备了较小的介质层磨损率和较低的腐蚀度，可以促进研磨粒子的稳定性，保持极高的钨去除速率。由于相对降低了机械力的作用强度，凹坑、腐蚀和介质层的损耗等问题也减小了。

主权项

一种芯片抗氧化研磨剂，其特征在于，包括下列重量份数的物质：复硝酚钠4‑7份，荼乙酸2‑6份，酒石酸20‑31份，苯甲酸甲酯1‑4份，聚乙烯醇5‑10份，研磨粒子3‑7份，过氧化氢5‑10份，纳米硫酸钙15‑20份，二氧化氯11‑16份，三乙胺8‑12份，二氧化硅4‑5份，分散剂1份。