[发明专利]一种铜抛光剂及其制备方法在审
申请号: | 201410283543.9 | 申请日: | 2014-06-23 |
公开(公告)号: | CN104046991A | 公开(公告)日: | 2014-09-17 |
发明(设计)人: | 宋云 | 申请(专利权)人: | 梧州恒声电子科技有限公司 |
主分类号: | C23F3/06 | 分类号: | C23F3/06 |
代理公司: | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人: | 黄为;蔡国 |
地址: | 543002 广西壮*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | 本发明公开了一种铜抛光剂及其制备方法,旨在提供一种抛光效果稳定,使用方便的铜抛光剂及其制备方法,其技术要点是:该铜抛光剂每升含下述组分:双氧水200-500g,氨基三乙酸二钠10-30g,二甘醇丁醚30-60g,酸80~120g,缓蚀剂3-8g,苯甲醇40-80g,余量为水;该铜抛光剂的制备方法:1)称取各个组分;2)将步骤1)称取的组分放入反应器,加水至1L,然后在40-50℃搅拌20-60分钟即得铜抛光剂;属于金属清洁技术领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 抛光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种铜抛光剂,其特征在于,每升铜抛光剂含下述组分:双氧水200‑500g,氨基三乙酸二钠10‑30g,二甘醇丁醚30‑60g,酸80~120g,缓蚀剂3‑8g,苯甲醇40‑80g,余量为水。
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